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　　一、制氮機系統原理
變壓吸附空分制氮（簡稱P.S.A制氮） 是一種先進的氣體分離技術，以進口碳分子篩（CMS）為吸附劑，采用常溫下變壓吸附原理（PSA）分離空氣制取高純度的氮氣。
氧、氮兩種氣體分子在分子篩表面上的擴散速率不同，直徑較小的氣體分子（O2）擴散速率較快，較多的進入碳分子篩微孔，直徑較大的氣體分子（N2）擴散速率較慢，進入碳分子篩微孔較少。利用碳分子篩對氮和氧的這種選擇吸附性差異，導致短時間內氧在吸附相富集，氮在氣體相富集，如此氧氮分離，在PSA條件下得到氣相富集物氮氣。
碳分子篩對氧和氮在不同壓力下某一時間內吸附量的變化差異曲線：
一段時間后，分子篩對氧的吸附達到平衡，根據碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附量不同的特性，降低壓力使碳分子篩解除對氧的吸附，這一過程為再生。根據再生壓力的不同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生利于分子篩的*再生，易于獲得高純度氣體。
變壓吸附制氮機（簡稱PSA制氮機）是按變壓吸附技術設計、制造的氮氣發生設備。通常使用兩吸附塔并聯，由全自動控制系統按特定可編程序嚴格控制時序，交替進行加壓吸附和解壓再生，完成氮氧分離，獲得所需高純度的氮氣。
碳分子篩（CMS）的動態吸附量和分離系數的性能優劣決定了制氮機的好壞。
二、鈀觸媒除氧純化工藝原理
一定流量、純度的普氮和氫氣同時進入裝置中，在混合器中充分混合后，進入裝有鈀觸媒除氧器裝置，在脫氧催化劑的作用下產生2H2+O2=2H2O的化學反應，達到脫氧目的。脫氧后氮氣中的水氣經過冷卻器脫水，然后氮氣繼續進入干燥器干燥，使氮氣露點達-60℃左右，干燥器配置兩臺，其中一臺干燥器進行吸附干燥，另一臺把已吸附飽和水氣的干燥器進行再生，為下一周期吸附工作做好準備。經干燥后的氮氣通過過濾器除塵，zen后得到的便是高純氮氣。